设备
Z高检测设备
外形尺寸(mm)
2200x1800x2000
设备重量(kg)
900
运动行程(mm)
700x500x200
载具定位精度(mm)
±0.03
重复定位精度
±0.01
Z轴负载(kg)
10
控制方式
伺服
驱动方式
模组
检测材料
FR4、FR5等